?矩管外高頻線圈產生高頻電磁場，高純氬氣在高頻電磁場中失去電子，等離子體光譜儀電子轟擊待測樣品，樣品的各元素產生躍遷，發射出具有一定的特征譜線的光。通過檢測器探測這種特征譜線并檢測其強度，可以定性分析元素和定量計算該元素的濃度。

　　

　　當今等離子體光譜儀的發展趨勢是、簡捷、易用，且具有的分析速度。更加注重實際工作的需求及效率，使用者無需在儀器的調整上耗費時間和精力，從而能夠把更多的精力放在分析測定工作上，使ICP成為一個易操作、通用性的實用工具。而且儀器更具多樣化的適配能力，可根據實際工作需要選擇不同的配置，例如在同一臺儀器上可實現垂直觀測、水平觀測、雙向觀測，全波段覆蓋、分段掃描，無機、有機樣品、油樣分析，自動進樣器、超聲霧化器、氫化物發生器、流動注射進樣、固體進樣等多種配置形式，并可根據需求隨時升級，真正做到了一機多能，易用。新型的ICP商品儀器，綜合了前幾代儀器的優點，對等離子體光譜儀的結構、控制和軟件功能等方面進行調整、推出新一代的ICP儀器。由于高集成固體檢測器的普遍使用，高配置計算機的引入，使等離子體光譜儀在結構上更加緊湊、功能更加完善，并在控制的可靠性、數據通用性上都有了質的飛躍。